真空レギュレータとは何ですか?

とは何ですか真空レギュレーターえ？
A 真空レギュレーターr は、システム内で望ましい真空圧を維持するために使用されるデバイスです。真空レギュレータには多くの種類がありますが、ここで説明する機械式真空レギュレータは力の平衡の原理に基づいて動作します。

2 つの真空制御
真空制御装置には主に 2 つのタイプがあります。真空レギュレーターRSとバキュームブレーカー。このページでは、各タイプのさまざまな使用法とその仕組みを説明することを目的としています。

タイプ 1:真空レギュレーターr
Gaolu の B3V などの真空レギュレータは、真空ポンプとプロセスの間の流れを絞ることでプロセスの真空を制御します。このタイプは真空レギュレータと呼ばれることが多いですが、圧力は入口ポートで制御されるため、実際には背圧レギュレータです。レギュレータが閉じると、システムの絶対圧力が増加します (または真空が減少します)。
右側の簡略化された例では、真空レギュレータはバネ仕掛けのダイヤフラムを使用して真空圧力を制御します。プロセス真空はダイヤフラムの下側にあり、大気圧はダイヤフラムの上側にあります。スプリングが引き上げられて、負の設定値バイアスが提供されます。プロセス圧力が低くなりすぎると（真空が強すぎると）、ダイヤフラムが下がり、プロセスと真空供給ポンプの間の空気の流れが制限され、真空度が低下します。絶対圧力が設定値を超えると (真空度が低すぎる)、プランジャーが上昇し、プロセスポンプと供給ポンプの間のガス流量が増加し、真空度が増加します。